Stanice pro hloubkové plasmové reaktivní iontové leptání

Předmět plnění:
- dodávka stanice pro hloubkové plasmové reaktivní iontové leptání dle přiložené dokumentace (např. možnost využití procesorů vysoce anizotropního hlubokého leptání skleněných nebo křemíkových substrátů, používaných k vytváření struktur s vysokým poměrem stran, počítačem řízená kontrola tloušťky leptaného materiálu, čímž bude umožněna optimalizace leptacích procesů apod.)

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena v Kč bez DPH

Lokalita:
- okres Ústí nad Labem

Termín:
- do 150 dnů od zveřejnění smlouvy v registru smluv