ECOStor - Spektroskopický elipsometr

Předmět plnění:
- dodávka spektroskopického elipsometru (ECOStor)
- technické parametry např.:
- spektroskopický elipsometr musí umožňovat měření v rozsahu minimálně 400 - 1000 nm při minimálně 190 vlnových délkách
- detekce bude realizována pomocí CCD detektoru
- napájení elipsometru a ovládacího počítače je 230 V/50 Hz
- elipsometrmusí být kompatibilní s ALD depozičním zařízením Picosun R-200 Advanced, které je vybavené 2 přírubami CF16 pro napojení elipsometru
- instalace elipsometru na ALD reaktor a jeho odejmutí musí být možné provádět uživatelem pro provádění ex-situ měření na měřící stolici atd.
- podrobná specifikace je v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- Praha

Termín:
- do 7 měsíců ode dne účinnosti Smlouvy