Nákup samostatně stojícího systému HMDS

Předmět plnění:
- nákup samostatně stojícího HMDS systému
- jedná se o zařízení obsahující topnou desku
- díky tomu je za teploty nadeponována tenká vrstva hexamethyldisilazanu, jakožto adhezního promotoru, pro následné zvýšení adheze spincoatovaných polymerních rezistů ke křemíkovým a skleněným substrátům
- s využitím tohoto procesu je tedy odstraněna chybovost výroby všech následných litografických procesů způsobená delaminací rezistů
- velikost substrátu 200 mm
- maximální tloušťka substrátu 14 mm
- maximální teplota 250 °C
- přesnost teploty ± 0.6 °C při 100 °C
- dále v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- nejpozději do 14 týdnů od data účinnosti smlouvy

Přílohy: