Vakuové napařovací zařízení

Předmět plnění:
- dodávka vakuového napařovacího zařízení
- zařízení bude sloužit k depozici tenkých optických vrstev pomocí napařovací technologie ve vysokém vakuu
- předpokládá se široká škála vrstev na bázi Cr, CrOx, Al, Al2O3, Ag, Au, MgF2, HfO2, Si, SiO2, TiO2, ZrO2, atd.
- vakuová komora zařízení bude přístupné z čistého prostoru a zbývající část v servisním prostoru mimo čistý prostor
- výška zařízení je limitována výškou čistého prostoru a nesmí být vyšší než 3300 mm
- reakční komora musí být vyrobena z nerezové oceli, chlazena vodou s rozměry min. 1300 x 1300 mm
- komora musí být vybavena dvěma sadami lehce vyměnitelných ochranných plechů z nerezové oceli
- součástí dodávky jsou také 2 sady držáků substrátů, které jsou vyrobeny z nerezové oceli a skládají se ze 4, případně 6 segmentů pro jednoduchou manipulaci
- čerpací systém:
- rotační vývěva (Roots) s výkonem min. 300 m3/hod., bezolejová (oilfree), mezní tlak 5x10-3 mbar
- 2 Kryopumpy, každá s min. výkonem 10 000 L/s
- vysoce vakuový ventil mezi komorou a kryopumpou velikosti DN500

Hodnoticí kritéria:
- nabídková cena

Lokalita:
- okres Vsetín

Termín:
- do 6 měsíců od podpisu smlouvy