Dodávka pulzního mikrovlnného depozičního systému

Předmět plnění:
- dodávka pulzního mikrovlnného depozičního systému (2,45 GHz) pracujícího s vysokým výkonem (CW ≥2 kW, pulzní režim ≥4 kW) umožňujícího inicializaci plazmatu o vysoké hustotě v rozsahu provozních tlaků od 5 až 50 Pa a umožňující depozici na trojrozměrné substráty o výšce 2 cm a minimální ploše 10 cm

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena v EUR bez DPH

Lokalita:
- Praha

Termín:
- do 18 měsíců

Přílohy: