UHV zařízení

Předmět plnění:
- dodávka UHV zařízení včetně příslušenství
- jedna univerzální reakční komora umožňující depozice v termálních, plazmových procesech, procesech se zesilovačem difuze na jednotlivé podklady, šarže podkladů, podklady 3D, podklady „High Aspect Ratio“, skrz-porézní materiály metodou nuceného průtoku
- depozice na výše uvedené podklady realizovaná pomoci držáků, bez nutnosti používaní dedikovaných komor a v plném rozsahu dosažitelných teplot reaktorem
- reakční komora o rozměrech min. 200 mm průměr, min. 140 mm výška

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- Praha

Termín:
- do 8 měsíců ode dne účinnosti smlouvy