Dodávka systému magnetronového naprašování

Předmět plnění:
- dodávka systému magnetronového naprašování
- systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5 nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší
- systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000°C a teplotou vzorku/substrátu až do 800°C
- systém musí obsahovat softwarové ovládání pro nastavení, monitorování a kontrolu depozičních podmínek nanášecího procesu a jeho plně automatický chod depozičního procesu
- atd. v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Ostrava - město

Termín:
- do 360 kalendářních dnů od nabytí účinnosti smlouvy