Dodávka systému magnetronového naprašování
Předmět plnění:
- dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství
- systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší atd.
Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena
Lokalita:
- okres Ostrava-město
Termín:
- max. 360 kalendářních dnů od nabytí účinnosti smlouvy
Přílohy:
Příloha č. 1.docxPříloha č. 2.docx
Příloha č. 3.docx
Příloha č. 4.docx
Příloha č. 5.docx
Příloha č. 6.docx
Příloha č. 7.pdf